単結晶酸化ガリウム基板
酸化ガリウム（Ga2O3）は、ガリウム（Ga）と酸素（O）の化学量論比２：３の化合物です。
結晶は右記にします単斜晶系の構造となっています。
物質としての特性は、
・大きなバンドギャップ：4.8～4.9V
・広範囲に渡りn型キャリア濃度の制御が可能
・大気圧下での高速融液成長が可能です。
当社は融液成長法である“EFG法（Edge-defined Film-fed Growth method）”を用いて単結晶酸化ガリウム基板の製造を行っています。
アプリケーション
1) 可視光／紫外LED用基板
本基板の“透明で導電性”である特徴を活かし、LED縦型構造にすることができます。
2) パワー半導体用基板
大きなバンドギャップを活かした高耐圧・低損失なデバイス特性にすることが可能です。
3) 深紫外センサー
光学フィルタが不要な深紫外の検出が可能となります。
など
製品
・酸化ガリウム ベア基板 仕様書：pdf
学会・展示会情報
問い合わせ先
結晶は右記にします単斜晶系の構造となっています。
| 項目 | 値 |
| 融点 | 1725℃ |
| 比重 | 5.95×103kg/m3 |
| ビッカース硬度 | (101):9.7GPa (-201):12.5GPa |
| ヤング率 | 230GPa |
| 熱伝導度 | [100]:13.6W/m・K [010]:22.8W/m・K |
| 比熱 | 0.49×103J/kg・K |
| 屈折率 | 1.97 |
物質としての特性は、
・大きなバンドギャップ：4.8～4.9V
・広範囲に渡りn型キャリア濃度の制御が可能
・大気圧下での高速融液成長が可能です。
当社は融液成長法である“EFG法（Edge-defined Film-fed Growth method）”を用いて単結晶酸化ガリウム基板の製造を行っています。
アプリケーション
1) 可視光／紫外LED用基板
本基板の“透明で導電性”である特徴を活かし、LED縦型構造にすることができます。
2) パワー半導体用基板
大きなバンドギャップを活かした高耐圧・低損失なデバイス特性にすることが可能です。
3) 深紫外センサー
光学フィルタが不要な深紫外の検出が可能となります。
など
製品
・酸化ガリウム ベア基板 仕様書：pdf
学会・展示会情報
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