TNR15-225LH | |
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対象基板 | MAX. W150 × L150 (mm) M I N. W 50 × L 50 (mm) |
部品高さ | 上面 10, 15, 20, 25mm 下面 10, 15, 20, 25mm |
乗せ代 | 3mm |
N2ガス供給源 | 99.99%以上 0.4~0.7Mpa 150NL/min以上 |
基板搬送高さ(パスライン) | 900±20mm |
入力電源 | AC200V-50/60Hz-3φ 21kVA 61A (シンクロスタート時) |
装置寸法 | W1210×L2200※1×H1370※2 (mm) |
装置質量 | 約 600kg |
搬送速度 | 0.1~0.7 m/min |
※仕様は予告なく変更する場合がございます。あらかじめご了承ください。
※1 入口、出口スプロケットは除く
※2 排気ダクト・シグナルタワー・液晶モニターは除く